冷凝泵相對(duì)其他泵閥來(lái)說(shuō)應(yīng)該是比較復(fù)雜的,下面是關(guān)于冷凝泵的故障查找、點(diǎn)檢及再生知識(shí)介紹。
4.1真空不良可能產(chǎn)生的原因。
①真空安全閥泄露。
②冷板安裝不正確、劣化、再生不良。
③前級(jí)泵抽氣時(shí)間過(guò)長(zhǎng),使油返回到真空室后又被吸附到冷板上。
?、苤评錅囟冗_(dá)不到20K以下:a1冷凍機(jī)制冷能力劣化;b1壓縮機(jī)壓縮能力降低(很少發(fā)生);c1He氣壓力過(guò)低;d1He氣充填壓力過(guò)高。
二、冷凝泵的點(diǎn)檢
①冷凍機(jī)運(yùn)行是否平穩(wěn)。
②馬達(dá)旋轉(zhuǎn)是否為順時(shí)針?lè)较颉?/span>
?、蹨囟?、真空度是否正常。
?、鼙皿w外側(cè)是否有冷凝水存在,否則,需進(jìn)行再生。
?、軭2蒸汽壓溫度計(jì)在室溫狀態(tài)(即暴露在大氣中)的值是否在4.7~5.7K間。否則,溫度計(jì)可能有問(wèn)題。
壓縮機(jī)點(diǎn)檢
?、貶e氣壓、水流量、水溫、油位是否正常。
②壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常。
1、再生時(shí)間
?、俑鶕?jù)運(yùn)轉(zhuǎn)周期,定期進(jìn)行再生。
?、谥评淠芰档蜁r(shí)(溫度達(dá)不到20K以下;真空度差),進(jìn)行再生。
2、再生種類
①通常再生:3~8h。
?、诩彼僭偕?當(dāng)泵內(nèi)含有毒性、腐蝕性、可燃性氣體以及大量的O2水時(shí),泵停止后,進(jìn)行短時(shí)間再生。
3、急速再生的實(shí)施
?、訇P(guān)閉高閥,將加熱N2或室溫N2氣由PurgeGas口導(dǎo)入泵腔,被稀釋的毒性氣體就會(huì)通過(guò)排氣閥放出。這時(shí),冷板的溫度若達(dá)不到77K以上,泵室的壓力就上不去,氣體也就無(wú)法釋放出來(lái),而又會(huì)被凝縮在冷頭上。
用N2進(jìn)行沖洗時(shí),最好采用專用的放氣管道來(lái)排出N2氣。不得已要從安全閥釋放時(shí),由于易產(chǎn)生真空泄露,所以,有必要對(duì)安全閥進(jìn)行清洗。
?、谟眉訜崽哼M(jìn)行加熱。但要注意加熱時(shí),溫度不能超過(guò)70℃。否則,會(huì)損壞冷凝泵。